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工業(yè)氫氟酸溶液處理碳化硅表面方法
來源:http://www.pk8u8.com/news546001.html發(fā)布時間:2017-06-28
經(jīng)過工業(yè)氫氟酸作用氮化硅表面之后,是可以將氮化硅表面的非極性基團(tuán)刻腐蝕掉,比如講氧化的含氮基因脫氧變成極性的基團(tuán),同時也是暴露出來很多的Si-N鍵,這樣的Si-N鍵也是一種極性比較高的鍵,這些含氮的基因和有比較高極性的Si-N鍵都會呈現(xiàn)出親水性,減小了薄膜和溶液的接觸角,這樣也增加了氮化硅表面的親水性,采用這方法是可以簡單的增加表面的親水性,因此在后續(xù)的氮化硅表面獲得更加全面積且均勻的涂抹或者是旋涂薄膜。
相關(guān)標(biāo)簽:氫氟酸
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